Đề tài Xác định bề dày phôi vật liệu bằng hệ phổ kế alpha

Tóm tắt: Ngày nay trong các ngành công nghiệp cũng như trong nghiên cứu khoa học đã xuất hiện nhu cầu cần xác định chính xác được độ dày của những phôi vật liệu có kích thước rất mỏng, xuống tới đơn vị µm. Do đó trong bài báo này chúng tôi sẽ đưa ra hai phương pháp để xác định bề dày của những phôi vật liệu cực mỏng một cách đơn giản, nhanh, chính xác và không tốn kém. Cả hai phương pháp này dựa trên nền tảng của sự mất năng lượng của hạt alpha khi qua phôi vật liệu và sau đó được ghi nhận bằng hệ phổ kế alpha có độ phân giải năng lượng cao. Tác giả: Lê Công Hảo, Mai Văn Nhơn, Châu Văn Tạo