Luận văn Tổng hợp màng TiN bằng phương pháp sputter- Ion- plating (SIP)

TỔNG HỢP MÀNG TIN BẰNG PHƯƠNG PHÁP SPUTTER- ION- PLATING (SIP) TRẦN THẾ HƯỞNG Trang nhan đề Mục lục Mở đầu Chương 1: Một số phương pháp tạo màng mỏng Chương 2: Phún xạ manhetron phẳng Chương 3: Thiết lập hệ EARE và PMS Chương 4: Tổng hợp màng tin Kết luận Tài liệu tham khảo

pdf6 trang | Chia sẻ: maiphuongtl | Lượt xem: 1775 | Lượt tải: 0download
Bạn đang xem nội dung tài liệu Luận văn Tổng hợp màng TiN bằng phương pháp sputter- Ion- plating (SIP), để tải tài liệu về máy bạn click vào nút DOWNLOAD ở trên

Các file đính kèm theo tài liệu này:

  • pdf2.PDF
  • pdf0_3.PDF
  • pdf1_2.PDF
  • pdf3.PDF
  • pdf4_2.PDF
  • pdf5.PDF
  • pdf6_2.PDF
  • pdf7.PDF
  • pdf8.PDF
Tài liệu liên quan