Đề tài Công nghệ Spintronics

ng quan photon tia X (X-ray photon correlation spectroscopy - XPCS). 5. Hiệu ứng từ điện trở (MR) Hiệu ứng từ điện trở (MagnetoResistance- MR) là sự thay đổi điện trở của một vật dẫn gây bởi từ trường ngoài. Hiệu ứng này lần đầu tiên được phát hiện bởi William Thomson (Kelvin) vào năm 1856 với sự thay đổi điện trở không quá 5%. Hiệu ứng này được gọi là hiệu ứng từ điện trở thường. Gần đây, các nhà khoa học đã phát hiện ra nhiều loại hiệu ứng từ điện trở trong nhiều loại vật liệu khác nhau đem lại khả năng ứng dụng hết sức to lớn. Người ta thường dùng khái niệm tỉ số từ trở để nói lên độ lớn của hiệu ứng từ điện trở, cho bởi công thức: Đôi khi, trong một số thiết bị, tỉ số này cũng được định nghĩa bởi: Với: ρ(H): Điện trở xuất của vật dẫn khi có từ trường ngoài đặt vào ρ(0): Điện trở xuất của vật dẫn khi không có từ trường ngoài đặt vào R(H): Điện trở của vật dẫn khi có từ trường ngoài đặt vào R(0): điện trở của vật dẫn khi không có từ trường ngoài đặt vào. Hmax : là từ trường cực đại Hai cách định nghĩa này hoàn toàn tương đương nhau. Trong các vật dẫn không có từ tính như kim loại Cu, Au thì hiệu ứng MR xảy ra do lực Lorentz tác động lên chuyển động của các điện tử. Hiệu ứng này rất nhỏ và có giá trị âm. Trong các chất sắt từ hiệu ứng MR liên quan đến tán xạ bởi các Spin bất trật tự. Trạng thái bất trật tự của các spin luôn làm tăng điện trở. Khi đặt từ trường ngoài vào thì mức độ bất trật tự của các spin giảm, ta sẻ nhận được hiệu ứng từ điện trở dương nhưng đẳng hướng. Hiệu ứng này rất nhỏ trong các kim loại chuyển tiếp sắt từ nhưng lại rất lớn trong các vật liệu đất hiếm- kim loại chuyển tiếp có chuyển pha từ giả bền như RCO2, gốm Perovskites… Trong một vật dẫn kim loại, dòng điện được mang đi nhờ sự chuyển động của electron. Nếu electron bị khuếch tán khỏi hướng chính của dòng điện thì dòng điện bị yếu đi,  nghĩa là  điện trở tăng lên.  Hình 4.  Trong vật dẫn từ  các spin của phần lớn electron hướng cùng chiều với chiều từ hóa (các vòng tròn màu đỏ). Một số ít electron (các vòng tròn màu trắng) có spin ngược chiều với chiều từ hóa sẽ bị khuếch tán nhiều hơn. Trong một vật liệu từ thì sự khuếch tán electron bị ảnh hưởng bởi hướng từ hóa (magnetization). Sự liên quan giữa từ hóa và điện trở trong hiệu ứng GMR được giải thích nhờ spin của electron. Trong vật liệu từ phần lớn các spin xếp song song với nhau, theo chiều từ hóa, tuy nhiên cũng có một số spin có chiều đối nghịch với chiều từ hóa và số electron có spin đối chiều này sẽ khuếch tán mạnh hơn khi gặp phải các tâm dị thường và tâm bẩn trong vật liệu và đặc biệt tại giao diện các lớp, do đó dòng điện giảm đi, nghĩa là  điện trở tăng lên. I.5.1. Hiệu ứng từ điện trở khổng lồ (GMR) I.5.1.1. Định nghĩa Hiệu ứng từ điện trở khổng lồ (tiếng Anh: Giant MagnetoResistance, viết tắt là GMR) là sự thay đổi lớn (nhảy vọt) của điện trở ở các vật liệu từ dưới tác dụng của từ trường ngoài. Ta có một lớp kim loại không có từ tính (lớp 2) bị ép giữa hai lớp kim loại từ (lớp 1&3) như hình A & B. Trên hình A hai lớp kim loại từ 1&3 có cùng chiều từ hóa, lúc này số electron có spin cùng chiều với chiều từ hóa sẽ đi qua các lớp dễ dàng và như thế điện trở nhỏ. Nếu ta thay đổi chiều từ hóa đối với lớp kim loại từ 3 (nằm bên phải cùng) như trong hình B thì các electron lại có spin ngược chiều với chiều từ hóa trong lớp cuối cùng bên phải do đó bị khuếch tán nhiều hơn, dòng điện giảm đi và điều đó có nghĩa điện trở tăng mạnh lên gây nên hiệu ứng GMR. Vậy hiệu ứng GMR là hiệu ứng làm cho điện trở trở thành khổng lồ nhờ tác động của từ trường. I.5.1.2. Lịch sử nghiên cứu của hiệu ứng Hình 5: Hiệu ứng từ điện trở biểu diễn bằng tỉ số R/R(H=0) của các mỏng đa lớp Fe/Cr GMR là một hiệu ứng từ điện trở nhưng là một hiệu ứng lượng tử khác với hiệu ứng từ điện trở thông thường được nghiên cứu từ cuối thế kỷ 19. Hiệu ứng này lần đầu tiên được phát hiện vào năm 1988. Nhóm nghiên cứu của Albert Fert ở Đại học Paris-11 trên các siêu mạng Fe(001)/Cr(001) cho tỉ số từ trở tới vài chục %.(Hình bên). Nhóm nghiên cứu của Peter Grünberg ở Trung tâm Nghiên cứu Jülich (Đức) phát hiện ứng này trên màng mỏng kiểu "bánh kẹp" (sandwich) 3 lớp Fe(12nm/Cr(1 nm)/Fe(12 nm) chế tạo bằng phương pháp epitaxy chùm phân tử trên đế GaAs. Hai tác giả này đã nhận giải thưởng Nobel Vật lý năm 2007 cho phát minh này. Đây là hai nhóm độc lập nghiên cứu và phát hiện ra hiệu ứng GMR trên các màng đa lớp có các lớp sắt từ bị phân cách bởi lớp phản sắt từ hoặc phi từ, đồng thời đưa ra các giả thiết để giải thích hiệu ứng này. Năm 1992, nhóm của A. E. Berkowitz (Đại học California, San Diego, Mỹ) phát hiện ra hiệu ứng GMR trên các màng hợp kim dị thể Co-Cu với cấu trúc là các hạt Co siêu thuận từ trên nền Cu có tỉ số từ trở đạt tới hơn 20%. Các nghiên cứu về sau tiếp tục phát triển và lý giải hiệu ứng này, và tính từ "khổng lồ" không còn được hiểu theo nghĩa độ lớn của hiệu ứng từ điện trở nữa, mà hiểu theo cơ chế tạo nên hiệu ứng: đó là cơ chế tán xạ phụ thuộc spin của điện tử. I.5.1.3. Cơ chế của hiệu ứng. Hiệu ứng từ điện trở khổng lồ có thể được giải thích với sự tổ hợp đồng thời của 3 giả thiết sau: Vì độ dày của của lớp không từ chỉ vào cỡ 1nm, tức là nhỏ hơn hoặc xấp xỉ bằng quãng đường tự do trung bình của điện tử, nên điện tử có khả năng vượt qua lớp đệm không từ tính để chuyển động từ lớp từ tính này sang lớp từ tính khác. Khi di chuyển trong các lớp vật liệu có từ tính hoặc trong vùng chuyển tiếp với các lớp từ tính, sự tán xạ của các điện tử phụ thuộc vào định hướng spin của chúng. Định hướng tương đối của các vectơ từ độ trong các lớp có thể thay đổi dưới tác dụng của từ trường ngoài. Điện trở của các chất rắn được tạo ra do sự tán xạ của điện tử, gồm có 4 loại tán xạ sau: Tán xạ trên mạng tinh thể do dao động mạng tinh thể gọi là tán xạ trên phonon. Tán xạ trên spin của các phần tử mang từ tính, gọi là tán xạ trên magnon. Tán xạ trên sai hỏng mạng tinh thể. Gần đây còn có các nghiên cứu chỉ ra sự tán xạ của điện tử trên các polaron từ để giải thích hiệu ứng CMR. Như vậy, hiệu ứng GMR có được là do sự tán xạ của điện tử trên magnon. Khi có các phần tử mang từ tính (ví dụ các lớp sắt từ trong các màng đa lớp hay các hạt siêu thuận từ trong các màng hợp kim dị thể) có sự định hướng khác nhau về mômen từ (do tác động của từ trường ngoài), sẽ dẫn đến sự thay đổi về tính chất tán xạ của điện tử và do đó sẽ làm thay đổi điện trở của chất rắn. Độ lớn của GMR liên quan đến độ lớn của hiệu ứng tán xạ phụ thuộc spin, mà đại lượng sau này lại liên quan đến tương quan quãng đường tự do trung bình và chiều dày của lớp kim loại phi từ. Cụ thể là hai hiệu ứng này sẽ bị triệt tiêu nếu quãng đường tự do của điện tử nhỏ hơn chiều dày màng ngăn cách. I.5.3. Hiệu ứng từ điện trở chui hầm I.5.3.1. Định nghĩa Hiệu ứng từ điện trở chui hầm hay từ điện trở xuyên hầm, (tiếng Anh: Tunnelling magnetoresistance, thường viết tắt là TMR) là một hiệu ứng từ điện trở xảy ra trong các màng mỏng đa lớp có các lớp sắt từ được ngăn cách bởi các lớp điện môi. Hiểu một cách đơn giản hơn hiệu ứng từ điện trở chui hầm là sự thay đổi lớn của điện trở suất xảy ra ở các tiếp xúc từ chui hầm (là các màng mỏng với các lớp màng mỏng sắt từ được ngăn cách bởi lớp điện môi, đóng vai trò lớp rào ngăn cách chuyển động của điện tử). I.5.3.2. Lịch sử nghiên cứu Hiệu ứng từ điện trở xuyên hầm được Julliére phát hiện và công bố năm 1975 khi nghiên cứu hệ vật liệu ba lớp bao gồm một lớp vật liệu ôxit vô định hình a-Ge2O3 cách điện nằm xen giữa hai lớp kim loại sắt từ Fe và Co: Fe/a-Ge2O3/Co. Sau phát minh của Julliére một vài nhóm thực nghiệm khác trên thế giới đã cố gắng nghiên cứu hiệu ứng xuyên hầm giữa hai điện cực sắt từ. Thí nghiệm đầu tiên của Maekawa và Gafvert thực hiện vào năm 1982 cho tỉ số TMR xấp xỉ 3% ở 4,2K trên cấu trúc Ni/NiO/Co. Một vài nhóm khác cũng nghiên cứu hiệu ứng TMR trên các cấu trúc với các vật liệu cách điện nhưng tất cả các thí nghiệm đều cho tỉ số TMR không lớn hơn 7% ở nhiệt độ 4,2K và thậm chí chỉ đạt được giá trị 1% ở nhiệt độ phòng. Năm 1995 các nhà khoa học mới thu được thành công đáng kể cho giá trị TMR bằng 10% ở nhiệt độ phòng trên cấu trúc Fe/Al-O/CoFe. Đến năm 2000 tỉ số TMR đã đạt đến giá trị 70%. Cũng vào thời gian đó, với việc thay thế lớp điện môi Al-O bằng MnO, các nhà khoa học đã đạt được tỉ số TMR vào khoảng 270% ở nhiệt độ phòng. Năm 2007 các nhà khoa học đại học Tohuku (Nhật Bản) đã đạt được giá trị kỷ lục TMR bằng 500% ở nhiệt độ phòng và bằng 1010% ở nhiệt độ 5K. I.5.3.3. Cơ chế hiệu ứng Hình 17: Lớp tiếp xúc từ chui hầm Với hệ vật liệu ba lớp bao gồm một lớp vật liệu ôxit vô định hình a-Ge2O3 cách điện nằm xen giữa hai lớp kim loại sắt từ Fe và Co: Fe/a-Ge2O3/Co. Độ dày của lớp ôxit thường được chọn để thõa mãn điều kiện cực tiểu cho năng lượng tương tác từ giữa hai điện cực sắt từ. Trong trường hợp này, hai điện cực sắt từ có cùng trục từ hóa dễ nhưng có lực kháng từ khác nhau (). Trạng thái từ độ phản song song làm tăng điện trở của hệ. Ngược lại trạng thái từ độ song song ở vùng từ trường nhỏ và từ trường lớn làm giảm điện trở của hệ. Hình 6: Cơ chế tạo hiệu ứng từ điện trở chui hầm trong các tiếp xúc từ chui hầm Đối với các tiếp xúc từ chui hầm có 2 lớp sắt từ kẹp giữa bởi một lớp điện môi, tỉ số từ điện trở (trong trường hợp này sử dụng là TMR) phụ thuộc vào độ phân cực spin của 2 lớp (P1, P2), và được cho bởi công thức: Các yếu tố ảnh hưởng đến hiệu ứng từ điện trở xuyên hầm: Độ hoàn hảo của tiếp xúc xuyên hầm. Nhiệt độ Hiệu điện thế Chiều cao rào thế và tính chất chuyển cục bộ. Spin kép Chương II: Công nghệ Spintronics II.1. Định nghĩa Spintronics, công nghệ Spintronic II.1.1. Định nghĩa Spintronics Spintronics là từ ghép giữa Spin electronics được dịch ra là Điện tử học spin hay kỹ thuật điện tử spin. Spintronics là thế hệ linh kiện mới khai thác đồng thời hai thuộc tính của điện tử là spin và điện tích. Spintronics đang là chủ đề nóng bỏng của khoa học và công nghệ hiện đại hứa hẹn khả năng thay thế linh kiện bán dẫn truyền thống, và là cơ sở cho máy tính lượng tử. Các linh kiện điện tử cơ bản (linh kiện logic) dựa trên sự vận chuyển các vách đômen là một hướng nóng bỏng trong thế giới Spintronics. II.1.2. Định nghĩa công nghệ Spintronics. Công nghệ Spintronics chính là sự kết hợp của hai lĩnh vực điện tử học và từ học nhằm tạo ra các chức năng mới cho vi điện tử hiện đại. Công nghệ Spintronics là một kỹ thuật liên ngành với một mục tiêu chính là thao tác và điều khiển các bậc tự do của spin trong các hệ chất rắn. Nói một cách đơn giản, công nghệ Spintronics là một ngành nghiên cứu mới nhằm tạo ra các linh kiện mới dựa trên việc điều khiển và thao tác spin của điện tử. Mục tiêu quan trọng của công nghệ Spintronics là hiểu về cơ chế tương tác giữa spin của các hạt và môi trường chất rắn, từ đó có thể điền khiển cả về mật độ cũng như sự chuyển vận của dòng spin trong vật liệu. Ngày nay người ta đồng nhất hai khái niệm Spintronics và công nghệ Spintronics thành một khái niệm tương đối. II.2. Lịch sử hình thành và phát triển của Spintronics Tám mươi năm trước, các nhà vật lý lý thuyết gặp phải một vấn đề: họ thiếu một cách mô tả các hạt cơ bản sao cho phù hợp với những nguyên lý trong lý thuyết tương đối hẹp của Eistein và lý thuyết mới hình thành là cơ học lượng tử. Vào năm 1927, Erwin Schrödinger đã thiết lập phương trình cho chuyển động cơ học lượng tử cho các điện tử, nhưng nó lại cũng vấp phải vấn đề là chính các điện tử cũng là các hạt tương đối tính. Bị băn khoăn bởi vấn đề này, Paul Dirac đã xây dựng hệ thống để giải các bài toán. Phương trình Dirac đến sau năm đó là một thành công rực rỡ về mặt toán học cho phép giải thích hai hiện tượng vật lý không mong muốn. Đầu tiên là sự tồn tại của các phản hạt, lần đầu tiên được xác nhận vào năm 1932 với sự phát hiện ra các pozitron (phản hạt của điện tử). Thứ hai là điện tử phải có một mômen động lượng riêng, hay còn gọi là spin, mà chỉ có hai chiều định hướng (hướng lên trên - up, hướng xuống dưới - down) theo chiều của từ trường đặt vào. Trong ngành điện tử thì cuộc cách mạng về điện tử bắt đầu vào năm 1947 khi nhóm của William Shockley, John Bardeen và Walter Brattain ở Phòng thí nghiệm Bell phát minh ra transistor bán dẫn đầu tiên dẫn đến việc hình thành lên nền công nghiệp các linh kiện điện tử bán dẫn. Đỉnh cao của công nghệ bán dẫn là các bộ vi xử lý thông minh chứa hàng triệu linh kiện trong một diện tích cực nhỏ. Về mặt bản chất vật lý, các linh kiện này dựa trên việc điều khiển dòng điện tích của điện tử. Các linh kiện điện tử, từ các lò vi sóng cho đến các thiết bị trong thiên văn, vũ trụ học vẫn chỉ khai thác duy nhất thuộc tính điện tích của điện tử, hay nói cách khác, công nghiệp bán dẫn đã chút nữa bỏ quên mất thuộc tính spin của điện tử sau hơn 70 năm phát hiện spin của điện tử. Một lý do "biện hộ" cho vấn đề này là sự thành công trong việc tý hon hóa các linh kiện. Số lượng transistor trên một đơn vị diện tích có thể ăn mòn trong một chíp Si, cứ 18 tháng lại tăng gấp đôi theo đúng xu hướng của định luật Moore. Nhưng rồi chúng ta cũng nhanh chóng tiến tới giới hạn mà kích thước nhỏ và sự xếp chặt các transistor có thể gặp phải là lượng nhiệt sản sinh ra không thể tản mát một cách đủ nhanh, và những hiệu ứng cơ học lượng tử không mong muốn có thể loại chúng đến những thuộc tính mà ta không mong muốn chút nào. Các hạn chế này đã thúc đẩy các nhà vật lý tìm kiếm những linh kiện mới dựa trên những thành tựu của công nghệ nano. Nếu như định luật Moore còn tiếp tục, ta sẽ phải tìm ra một cách khác với kỹ thuật vi điện tử truyền thống - và đây chính là thời kì mà spin của điện tử cần được khai thác trong các linh kiện điện tử. Khái niệm từ điện trở bắt đầu xuất hiện trong các sách vật lý sau năm 1856 khi Wiliam Thomson phát hiện ra sự thay đổi điện trở suất trong một số vật liệu khi chúng được đặt dưới từ trường ngoài. Từ những phát hiện của Thomson vào năm 1988 hiệu ứng từ điện trở khổng lồ (GMR) được phát hiện đồng thời bởi 2 nhóm nghiên cứu ở Pháp lãnh đạo bởi Albert Fert và ở Đức do Peter Grünberg đứng đầu và hiệu ứng từ điện trở chui hầm (TMR) vào năm 1995. Hai tác giả đứng đầu hai nhóm này là Albert Fert và Peter Grünberg đã nhận được giải thưởng Nobel Vật lý năm 2007 cho những đóng góp quan trọng cho sự hình thành của spintronics trên cơ sở phát minh về hiệu ứng từ điện trở khổng lồ. Việc hai nhà vật lý này nhận được giải thưởng Nobel có lẽ cũng không làm các nhà vật lý bất ngờ, bởi trước khi nhận được giải Nobel, họ đã nhận được khá nhiều giải thưởng uy tín cho phát minh này: Giải thưởng Quốc tế APS cho các phát minh vật liệu mới (1994); Giải Hewlett-Packard Europhysics (1997); Giải Medaille d’or du CNRS (2003), Giải thưởng Wolf (2007)... Lễ trao giải Nobel Vật lý đã được tiến hành vào ngày 10/12/2007 tại Stockholm (Thuỵ Điển). Những người đoạt giải sẽ nhận được Huân chương Nobel và tiền thưởng từ Nhà vua Thuỵ Điển King Carl XVI Gustaf. Sự phát hiện ra hiệu ứng GMR đã mở ra khả năng chế tạo các linh kiện điện tử kiểu mới, hoạt động dựa trên việc điều khiển dòng spin, gọi là spintronics. Năm 1988 được coi là năm khai sinh ra Spintronics. Công nghệ spintronics được đánh giá là một trong những hướng mũi nhọn của thế kỷ 21, là một hướng phát triển mới của điện tử học mà ở đó spin của điện tử là đối tượng được quan tâm khai thác nhằm bổ xung hoặc thay thế cho việc sử dụng điện tích của điện tử, để tạo ra những chức năng mới và ưu việt cho các linh kiện và thiết bị điện tử hiện đại. Trong khi mà các linh kiện truyền thống trên nguyên lý chỉ là sự điều khiển dòng các điện tích thì một linh kiện spintronic cũng sẽ là điều khiển dòng spin của điện tử (gọi là dòng spin) trong các linh kiện, tạo ra thêm một bậc tự do nữa. Bởi vì spin của điện tử có thể đảo chiều (đảo giữa 2 chiều up và down) nhanh hơn rất nhiều so với việc điều khiển dòng điện tích chạy trong mạch điện, do đó các linh kiện spintronic sẽ hoạt động nhanh hơn và tiêu tốn ít nhiệt hơn nhiều so với các phần tử vi điện tử truyền thống. Một trong những mục tiêu cơ bản là xây dựng lên các transistor trên cơ sở spin mà có thể thay thế các transistor truyền thống trong mạch tích hợp và các linh kiện nhớ, và do đó cho phép sự "tí hon hóa" vẫn được tiếp tục. Tuy nhiên, spintronics cũng mở ra một cánh cửa tới một loại linh kiện hoàn toàn mới. Và nhìn xa hơn nữa về tương lai, các linh kiện spintronics thậm chí có thể sử dụng để tạo nên các bit lượng tử, đơn vị của thông tin được xử lý bởi máy tính lượng tử. Tuy nhiên, để có thể tạo ra cuộc cách mạng spintronic, các nhà nghiên cứu cần tìm ra cách để tiêm, thao tác và ghi nhận spin của điện tử trong các chất bán dẫn bởi dường như các vật liệu này vẫn chiếm vị trí trung tâm trong vật lý các linh kiện trong một tương lai có thể dự đoán được. Thao tác trên các spin dường như đang trên đà thẳng tiến, nhưng tiêm và ghi nhận spin vẫn còn vấp phải hàng loạt vấn đề dưới các trở ngại thực tế, tạo nên một thử thách lớn. Nhìn chung các linh kiện spintronics được đánh giá là có thể sẽ giữ vai trò chủ đạo và thay thế các linh kiện điện tử truyền thống vào khoảng từ 2020 trở đi (hình 7). Những mục tiêu đang được spintronics hướng tới trong thế kỷ 21 là các linh kiện thuộc nhóm thế hệ II và III. II.3. Ứng dụng của linh kiện Spintronics II.3.1. Sơ lược về các thế hệ Spintronics Một cách tương đối, có thể chia các linh kiện spintronics thành 3 thế hệ: Thế hệ thứ nhất: Gồm các linh kiện dựa trên các hiệu ứng GMR, TMR, trong các màng mỏng đa lớp, các màng mỏng từ tiếp xúc dị thể kim loại-kim loại hoặc kim loại-điện môi..., ví dụ như các cảm biến, đầu đọc từ điện trở trong các đĩa cứng, các bộ nhớ RAM từ điện trở (MRAM), các transitor kim loại (hay transitor lưỡng cực), transitor valse spin, công tắc/khoá đóng mở spin, ... Thế hệ thứ hai: Bao gồm các linh kiện hoạt động dựa trên việc tiêm hoặc bơm dòng phân cực spin qua tiếp xúc dị thể bán dẫn- sắt từ hay bán dẫn từ- bán dẫn (điều này giúp cho việc tận dụng được các kỹ thuật vi điện tử hiện nay). Đó là các mạch khoá siêu nhanh, các bộ vi xử lý spin và mạch logic lập trình được,... Các linh kiện này sử dụng các vật liệu bán dẫn pha loãng từ, bán dẫn sắt từ hay các bán kim, các linh kiện vận chuyển đạn đạo (ballistic electron transport) sử dụng hiệu ứng từ điện trở xung kích, và các loại transistor spin như ở thế hệ thứ nhất. Một thế hệ linh kiện spin mới đang được phát triển mạnh và rất có triển vọng hiện nay là các bộ nhớ từ và các cổng lôgic dựa trên điều khiển vách đômen để tạo thành các bit thông tin trong các cấu trúc nano từ tính. Bạn có thể tưởng tượng, thông tin được mã hoá 0 và 1 thông qua sự định hướng của các mômen từ trong các đômen. Sự điều khiển các vách đômen chính là điều khiển các bit thông tin. Vách đômen có thể điều khiển dễ dàng bằng từ trường hoặc dòng điện. Và hiện nay, hướng spintronics này mục tiêu là tạo ra, và điều khiển các quá trình dịch chuyển, hãm, huỷ... các vách đômen trong các phần tử nhỏ (ví dụ các nanowire, các nanodot, các bẫy đômen) Thế hệ thứ ba: Là các linh kiện sử dụng các cấu trúc nano (dạng chấm lượng tử, dây và sợi nano) và sử dụng các trạng thái spin điện tử đơn lẻ như cổng logic lượng tử (là cơ sở cho máy tính lượng tử), các transistor đơn spin (SFET), ... Cảm biến van spin thuộc thế hệ linh kiện đầu tiên đã được chế tạo và đưa vào sử dụng ở mức độ thương phẩm từ cuối thế kỷ 20. Một số linh kiện điển hình của thế hệ này là kính hiển vi từ điện trở, robot xúc giác hay robot thông minh, đầu đọc ghi ổ cứng tốc độ cao, phím bấm không tiếp xúc, động cơ không chổi than, giải mã vạch, đếm tốc độ,điều chỉnh đánh lửa bugi động cơ đốt trong máy trợ thính, ... Các bộ nhớ MRAM không tự xóa đang bắt đầu có sản phẩm thương phẩm, và được dự đoán là sẽ chiếm lĩnh thị trường thương mại và tiêu dùng trong những năm gần đây. Hiện nay việc phòng chống tội phạm và khủng bố đang rất được ngành an ninh và quân đội quan tâm. Ngành tư pháp và quân đội Mỹ đã có những dự án nghiên cứu chế tạo các thiết bị điện tử nhạy với từ trường yếu theo nguyên lý của spintronics, đến mức có thể đo được từ xa từ trường có cường độ chỉ cỡ femto-Tesla. II.3.2. Giới thiệu một số linh kiện Spintronics trong thực tế II.3.2.1. Bộ nhớ MRAM (Magnetic Ramdom Access Memories) Ta biết rằng bộ nhớ truy nhập ngẫu nhiên (RAM) là phần tử nhớ không thể thiếu trong các máy tính hiện nay. Điểm kém của bộ nhớ RAM hiện nay là dữ liệu bị xóa mất sau khi ngắt nguồn điện và tốc độ truy nhập còn hạn chế. Bộ nhớ RAM từ điện trở (MRAM) đang được nghiên cứu mạnh mẽ và sẽ là một thay thế hữu hiệu cho RAM truyền thống. MRAM có những đặc tính tuyệt vời như: Không tự xóa, duy trì thong tin tốt, số lần ghi, đọc thông tin cao, thế hiệu thấp,… II.3.2.1.1. Sơ lược lịch sử nghiên cứu MRAM Bộ nhớ MRAM được mở đầu từ năm 1984 bởi 2 tiến sĩ Arthur Pohm và Jim Daughton lúc đó đang làm việc cho Honeywell, đưa ý tưởng về một loại bộ nhớ sử dụng hiệu ứng từ điện trở cho phép tạo ra các bộ nhớ với mật độ lưu trữ thông tin cao, truy nhập ngẫu nhiên, và không tự xóa. Năm 1989, Daughton rời Honeywell và ý tưởng này bắt đầu được phát triển thành thương phẩm. Năm 2000, hãng IBM và Infineon thiết lập chương trình nghiên cứu chung để phát triển MRAM. Từ năm 2003 đến nay MRAM được nâng cấp không chỉ dung lượng ngày càng lớn mà kích thước ngày càng nhỏ và nhiều ưu điểm hơn. II.3.2.1.2. Cấu trúc của MRAM Trong MRAM, thông tin không được lưu trữ bởi điện tích của điện tử như bộ nhớ bán dẫn mà được lưu trữ bởi spin của điện tử, mà cụ thể là theo sự định hướng của moment từ theo 2 chiều. Một ô nhớ cơ bản của MRAM được gọi là MTJ gồm 2 lớp từ tính kẹp giữa là một lớp cách điện mỏng (cỡ dưới Hình 3. Ô nhớ của MRAM và các bit (0), (1) tương ứng với trạng thái điện trở thấp và cao nm) như hình 3. Moment từ của một lớp đóng vai trò lớp chuẩn, bị giữ cố định theo một chiều, còn moment từ của lớp còn lại như là lớp lưu trữ có thể đảo dưới tác dụng của từ trường từ song song đến phản song song với lớp chuẩn do đó dẫn đến sự thay đổi về điện trở của cấu hình (do sự tán xạ khác nhau của điện tử trong các trạng thái song song và phản song song). Các bit (0) và (1) được quy ước tương ứng với trạng thái điện trở thấp và cao. Bộ nhớ MRAM dựa trên cơ chế đảo từ bằng từ trường. MRAM được thiết kế thành một ma trận của các đường ghi bit theo trục x và đường ghi word theo trục y. Các ô nhớ đặt tại vị trí giao nhau của đường ghi bit và đường word (hình 12). Bổ sung hình Ma trận Nhớ Thế hệ bộ nhớ MRAM hoàn chỉnh đầu tiên của hãng IBM và Motorola đã sử dụng 1 tiếp xúc xuyên hầm TMR tích hợp với một Transitor CMOS được chế tạo theo một qui trình liên tục, tạo ra một linh kiện tích hợp. Hình 4: Nguyên tắc ghi và đọc thông tin trong các bộ nhớ MRAM Khi đọc dữ liệu, một dòng xung công suất thấp sẽ đi vào qua cổng Control và mở transistor dẫn tới địa chỉ ô nhớ được chọn, điện trở của ô được xác định bằng cách điều khiển dòng qua "word line" qua tiếp xúc chui hầm từ và so sánh với ô lấy mẫu trong dãy (hình 4). Dữ liệu được ghi theo nguyên lý từ trễ. Các "word line" và "bit line" sắp xếp qua 2 cực của tiếp xúc chui hầm từ và được hoạt động nhờ một dòng xung đồng bộ để tạo ra một từ trường tại địa chỉ ô nhớ. Cường độ dòng được chọn sao cho chỉ lớp nhớ của tiếp xúc từ có thể bị đảo từ còn các lớp lấy mẫu vẫn giữ nguyên trạng thái. Điều này có thể tạo được là do đặc tính của các cấu trúc nano. Bộ nhớ MRAM dựa trên chế độ đảo từ nhờ nhiệt TAS. Hình 5. Ảnh chụp một MRAM phát triển bởi SPINTEC. Với nhu cầu tăng mật độ thông tin buộc kích thước bộ nhớ ngày càng phải giảm. Đó là một thách thức cho MRAM. Một kỹ thuật ghi khác phát triển bởi SPINTECH có thể loại bỏ điều này là đảo từ nhờ nhiệt (TAS). Điều này thực hiện nhờ đặc tính phụ thuộc nhiệt độ của trường đảo từ trong các hạt nano. Trong chế độ TAS, các transistor CMOS sẽ mở ở chế độ ghi, và sẽ có một dòng xung ngắn chạy qua lớn tiếp xúc từ đồng thời với dòng xung tạo ra từ trường ghi và sinh ra nhiệt tại lớp rào thế chui hầm (như một điện trở) và nhanh tróng đốt nóng lớp kim loại của tiếp xúc từ. Kết quả là trường đảo từ bị giảm xuống tại lớp lưu trữ và cho phép ghi dễ dàng hơn (hình 20) . Nhiệt độ Curie hoặc nhiệt độ Blocking thường được chọn để làm điểm ghi. Để thiết lập một từ trường đảo từ theo trục dễ, cần phải tạo một đường ghi riêng biệt. Cách này có nhiều ưu thế hơn so với phương pháp cũ:- Lỗi địa chỉ bị giảm xuống do quá trình lựa chọn ghi lúc này hầu như bị điều khiển bởi nhiệt độ. - Dù dòng đốt bổ sung, nhưng công suất ghi toàn thể có thể giảm giảm rất nhiều so với chế độ FIMS và hầu như không phụ thuộc vào kích thước ô nhớ. - Tốc độ ghi được tăng lên do khả năng địa chỉ đồng thời (song song) với xác suất lỗi thấp. - Sự bền nhiệt có thể cải tiến bằng cách thay thế các vật liệu có trường đảo từ lớn hơn tại nhiệt độ hoạt động. Bộ nhớ MRAM dựa trên cơ chế đảo từ bằng hiệu ứng truyền Spin (CIS). Bức tranh đơn giản của CIS là khi dòng chạy qua vậy liệu từ, các spin bị phân cực, ví dụ như sự mất cân bằng giữa spin up và down. Khi dòng điện đi vào các lớp từ tính khác, sự mất cân bằng spin này sinh ra các mômen xoắn tại các từ độ địa phương và có thể gây ra một sự đảo từ. Đảo từ nhờ hiệu ứng truyền Spin cần cường độ dòng điện cỡ 0,5mA. MRAM không cần chế tạo các kênh “bit” và “word” để tạo từ trường. Có thể nói, MRAM sẽ là một tiến bộ thay thế cho các bộ nhớ RAM truyền thống (SRAM, DRAM) với các ưu điểm: Mật độ cao (tăng dung lượng) Dữ liệu không bị xóa mất Tốc độ truy xuất cao hơn Công suất tiêu tốn giảm MRAM chính là một sản phẩm của công nghệ spintronics, điều khiển các spin của điện tử trong các linh kiện mới mà những thành tựu của nó được phát triển từ các kết quả nghiên cứu về vật liệu từ nano (hiệu ứng từ điện trở, từ trễ...). Trong một tương lai không xa, bộ nhớ MRAM sẽ trở thành thương phẩm phổ biến thay thế cho các bộ nhớ cũ. Bảng dưới đây so sánh MRAM với các loại RAM truyền thống. II.3.2.2. Cảm biến sinh học dựa trên kỹ thuật điện tử spin Một lĩnh vực ứng dụng mới rất được quan tâm của các vật liệu sử dụng công nghệ Spintronics có cấu trúc nano là việc kết hợp nó với công nghệ sinh học và y sinh học. Việc nhận biết các phân tử sinh học đã đóng một vai trò rất quan trọng trong ngành công nghiệp dược phẩm, phân tích môi trường và nhiều ứng dụng rộng rãi của công nghệ sinh học. Đặc biệt, nó đang mở ra một khả năng lớn trong việc phát triển các công cụ vừa có giá trị sử dụng cao vừa có giá thành rẻ dùng cho việc nhận biết lai hóa ADN - ADN trong chuẩn đoán các bệnh về gen, nhận biết biến dị hoặc mô tả định lượng của gen và nhận biết tương tác kháng thể - kháng nguyên trong nhận dạng các vi sinh vật và vũ khí sinh học. Các đầu dò có các chức năng nêu trên gọi là các cảm biến sinh học hoặc các biochip. Một biochip sử dụng công nghệ spin điện tử cơ bản gồm có một dãy các phần tử cảm biến; một dãy các đầu dò được cố định trên bề mặt của các sensơ; một buồng lai hóa; và một cơ cấu dùng để sắp xếp các bia tùy chọn theo dãy (xem hình dưới). Hình 1. Sơ đồ một biochip sử dụng công nghệ spin điện tử, bao gồm một dãy các bộ chuyển tín hiệu sử dụng công nghệ spin điện tử, một dãy đầu dò phân tử sinh học được cố định trên bề mặt sensơ (trong trường hợp này là các phân tử ADN đơn), dung dịch chứa các phân tử cần dò (các chuỗi ADN) và các hạt từ được có thể liên kết được với bề mặt cảm biến thông qua thông qua các lai hóa phân tử sinh học (các lai hóa ADN). Ở hình bên cạnh, nhận dạng phân tử sinh học đạt được bằng cách nhận biết từ trường tán xạ tạo bởi label từ nhờ bộ chuyển tín hiệu sử dụng công nghệ spin điện tử. Các đối tượng dò tìm được nhỏ lên chip để quá trình nhận dạng được tiến hành. Các phân tử này có thể được gắn hạt từ tính trước hoặc sau bước lai hóa. Dưới tác dụng của từ trường, các hạt này sẽ bị từ hóa và từ độ tổng cộng xuất hiện. Từ trường sinh ra từ các hạt từ bị từ hóa có thể thay đổi điện trở của cảm biến sử dụng công nghệ spin điện tử, do đó có thể giúp chúng ta nhận biết được các phân tử sinh học cần phân tích. Nguyên lý của biochip sử dụng công nghệ spin điện tử đã được sử dụng để dò tìm các biểu hiện của các phân tử sinh học trong các mô hình liên kết như liên kết biotin-streptavidin, immunoglobulinG - Protein A và AND - cADN, trong các phát triển ứng dụng dùng cho việc dò tìm các chất độc trong vũ khí sinh học và gần đây nhất là ứng dụng trong việc dò tìm các tế bào từ vi sinh vật gây bệnh. Các cảm biến cỡ nhỏ (2×6 mm2) có dải hoạt động nhỏ chứa được vào khoảng 200 hạt nano với đường kính 250nm, nhưng cho tín hiệu trên từng hạt lớn hơn. Cảm biến với kích cỡ này phù hợp nhất với các phép đo chỉ đòi hỏi câu trả lời “có” hoặc “không hay là những tín hiệu chỉ cần giá trị định lượng nhỏ. Nó mở ra một khả năng ứng dụng trong việc nhận biết các biến dị trong ADN có ở một vài nucleotide, gọi là SNP. Trong trường hợp này, nó sẽ rất nhiều thuận lợi cho việc phân biệt chính xác hầu hết các chuỗi ADN gần giống nhau và vấn đề duy nhất là một biến dị cụ thể cần dò tìm có xuất hiện hay không. Bộ chuyển đổi tín hiệu sử dụng công nghệ spin điện tử có tiềm năng lớn trong việc tích hợp các cảm biến sinh học tiên tiến. Các khả năng đặc biệt như: cơ chế chuyển từ trường thành tín hiệu điện ở đầu ra, hưởng ứng nhanh, độ nhạy cao, khả năng giải quyết vấn đề ở các quy mô khác nhau, tính tự động và có thể tạo được tổ hợp xử lý CMOS đơn giản, đã làm cho các biochips trở nên rất linh họat trong việc thiết kế các cấu trúc cho các ứng dụng trong các lĩnh vực trong y sinh học, công nghệ sinh học cho tới ngành phân tích thực phẩm và môi trường. Do vậy, sự quan tâm của các phòng thí nghiệm và các công ty cũng như số lượng các nghiên cứu trong lĩnh vực sử dụng công nghệ spin điện tử này vẫn đang tiếp tục tăng lên không ngừng. Cảm biến sinh học dựa trên kỹ thuật điện tử spin đang được nghiên cứu tại phòng thí nghiệm công nghệ micro-nano, trường ĐH Công nghệ. Ở Việt Nam, nhóm nghiên cứu ở trường Đại Học Công Nghệ đã hợp tác với các nhà khoa học đại học Chung Nam (Hàn Quốc) chế tạo được biochip dựa trên hiệu ứng Hall mặt phẳng. III.3.2.3. Transitor Spin Lý thuyết về spin transitor được giới thiệu lần đầu tiên ở Mỹ vào năm 1990, các nhà khoa học trên khắp thế giới đã thực hiện rất nghiên cứu liên quan đến công nghệ “up-and-coming”. Các nhà khoa học đã mất nhiều thời gian đến thế để nghiên cứu chế tạo spin transitor đầu tiên trên thế giới. Mặc dù, lý thuyết về spin transitor tương đối đơn giản nhưng rất khó đưa lý thuyết này vào thực tế. Vì sự khác biệt khá lớn trong truyền dẫn điện giữa chất bán dẫn và kim loại, nên gần như không thể kiểm soát được hướng chuyển động tự do của các hạt electron. Gần đây, các nhà khoa học Hàn Quốc đã chế tạo thành công linh kiện điện tử thế hệ mới có tên là “spin transitor” . Một transitor hiệu ứng trường spin, kiểm soát phương hướng spin của các hạt, là một đột phá trong lĩnh vực Spintronics. Không giống các thiết bị bán dẫn truyền thống chỉ kiểm soát được dòng điện, spin transitor mới có thể sử dụng spin của các hạt chuyển động quanh hạt nhân. Sử dụng phương hướng spin của các electron, một electron có thể gửi một bit dữ liệu. Spin transitor không chỉ giúp ích cho việc phát triển loại máy tính có thể bật lên ngay lập tức, không cần quá trình khởi động mà còn thực sự tích hợp được thiết bị nhớ và CPU vào một con chip đơn giản. Transitor spin lưỡng cực (bipolar). Transitor spin lưỡng cực thực chất là cấu hình gần như van spin: bao gồm hai lớp sắt từ kẹp một lớp kim loại không từ tính. Transitor spin trường (Spin FET) Linh kiện SFET có cấu trúc giống các transistor hiệu ứng trường (FET) cổ điển, có điều hai cực S (Sourse) và cực D (Drain) là các vật liệu sắt từ có chức năng tạo dòng spin phân cực. Cực S sẽ tiêm các điện tử có spin song song với chiều truyền dẫn và điện tử chỉ có thể chuyển động trong một kênh đó. Khi đến cực D, spin của điện tử sẽ được ghi nhận nhờ cực sắt từ và một cách đơn giản, chỉ điện tử nào có spin cùng chiều với từ độ sẽ được đi vào. Cực G (Gate) đóng vai trò tạo ra một từ trường (hoặc điện trường) có tác dụng điều khiển dòng spin. Có những vật liệu không có spin phân cực, người ta có thể tạo ra dòng spin phân cực vận chuyển trong các kênh dẫn nhờ quá trình truyền từ bên ngoài, gọi là tiêm spin. Sự tiêm spin này có thể nhờ một nguồn vật liệu sắt từ bên ngoài (giống như thông qua cực S sắt từ có vai trò tạo dòng phân cực) hoặc đôi khi có thể tạo ra spin phân cực nhờ sự tác động của ánh sáng bên ngoài (có nghĩa là nó kết hợp cả tính chất quang - giống như các photodiode hay phototransistor... trong các linh kiện quang điện tử). Transitor van spin (SVT) Transitor van spin là một cấu trúc ba cực trong đó cực đáy là một cấu trúc van spin kim loại bị kẹp giữa hai lớp bán dẫn làm cực phát và cực góp. Trong SVT các điện tử chuyển động vuông góc với các lớp van spin với năng lượng cao hơn độ cao của hang rào Schottky ở cực góp. Transitor từ xuyên hầm (MTT). Transitor từ xuyên hầm cũng có nguyên lý giống SVT, sự khác biệt đơn giản chỉ liên quan đến bản chất của cấu trúc Spintronics. Trong MTT lớp đáy không sử dụng cấu trúc van spin mà chỉ là một lớp sắt từ đơn. III.3.2.4. Máy tính lượng tử từ cặp chấm lượng tử Máy tính lượng tử này dựa trên công nghệ Si, Ge và GaAs đã và đang là nền tảng của công nghiệp điện tử - viễn thông hiện đại: sử dụng tính chất xoay của các điện tử trong cặp chấm lượng tử. Đây cũng chính là một ứng dụng của công nghệ mới spin tử (spintronics). Mẫu thiết kế (Friesen et al, 2003) diễn tả trên hình được chế tạo bằng các công nghệ đang có hiện nay. Hình 4. Mẫu máy tính lượng tử từ cặp chấm lượng tử. a) Cấu trúc máy tính lượng tử từ cặp chấm lượng tử: ở chính giữa là một giếng lượng tử, tiếp hai bên là lớp rào thông hầm lượng tử, mặt trên khắc theo thiết kế. b) Các cổng ở mặt trên của máy tính lượng tử với một dãy chấm lượng tử, các chấm lượng tử được đặt ở các khe đánh dấu bằng các chữ thập X. Lớp ở giữa là một giếng lượng tử dày 6 nm giam cầm điện tử theo chiều thẳng đứng được làm từ bán dẫn Si không pha tạp, hai rào thế hai bên dày 10 nm (dưới) và 20 nm (trên) được làm từ bán dẫn không pha tạp cho chiều cao rào thế tương ứng. Cổng dưới được làm từ bán dẫn pha tạp, cổng trên làm từ kim loại được khắc chia thành các ô. Các chấm lượng tử sẽ được đặt ở các khe như trên hình vẽ. Tùy theo các điện áp đặt vào cổng trên mà, hai điện tử sẽ tách ra xa nhau hoặc xích lại gần nhau. Bộ nhớ của  máy tính lượng tử cũng có thể  "sống còn" và  giữ lại được thông tin  khi mất hoàn toàn điện. Hơn thế nữa, khi có được  một lượng  lớn qubits  trong sự chồng chất trạng thái xoay chiều, máy tính lượng tử có thể  vận hành như một bộ xử lý  song song  cho phép những thuật toán  lượng tử giải nhiều số cùng  một lúc. Các  máy tính lượng tử sẽ không dùng logic nhị  phân mà dùng  vô số trạng thái của các spin cùng với   các phối hợp giữa những trạng thái này. II.4. Các kỹ thuật sử dụng trong công nghệ Spintronics II.4.1. Các phương pháp Lithography Lithography là một phương pháp vật lý, dùng để khắc hình các chi tiết nhỏ lên bề mặt vật liệu, để tạo ra các chi tiết, các linh kiện có hình dạng và kích thước đúng theo thiết kế. Nguyên lý của lithography được mô tả như hình 2. Người ta phủ một lớp chất hữu cơ, gọi là chất cản quang lên bề mặt của đế. Dùng các bức xạ chiếu lên để làm biến đổi các tính chất của cản quang. Cản quang là các chất có tính chất bị biến đổi dưới tác dụng của các bức xạ (ánh sáng, điện tử...). Tùy theo loại cản Hình 2: Nguyên lý phương pháp Lythotrong EBL: a) kỹ thuật liff-off, b) kỹ thuật ăn mòn quang mà có thể có 2 cách như sau: a) Kỹ thuật lift-off Kỹ thuật này tạo ra vật liệu sau khi đã có khuôn. Tức là ban đầu người ta phủ cản quang trực tiếp lên đế. Loại cản quang này có tính chất là sau khi bị chiếu các bức xạ sẽ bị biến đổi tính chất và bị hòa tan trong dung dịch tráng rửa (phần không bị chiếu xạ sẽ không bị hòa tan). Bức xạ sẽ tạo hình của chi tiết cần tạo và được chiếu lên cản quang. Sau khi rửa qua dung dịch tráng rửa, ta sẽ có các khe, giống như việc ta đóng dấu lên bề mặt mềm. Sau đó, bằng cách kỹ thuật tạo màng, người ta sẽ bay bốc vật liệu cần tạo lên các khe để có các chi tiết như thiết kế. Sau khi tạo vật liệu cần thiết, cả khối được rửa qua dung môi hữu cơ để rửa trôi phần cản quang còn dư sẽ loại bỏ cả vật liệu thừa bám trên bề mặt cản quang, chỉ còn lại phần vật liệu có hình dạng như đã tạo. b) Kỹ thuật ăn mòn Hình 3: Nguyên lý Photolithography Trong kỹ thuật ăn mòn, cản quang sẽ có tác dụng bảo vệ phần vật liệu muốn tạo hình. Người ta phủ vật liệu cần tạo lên đế, sau đó phủ chất cản quang rồi đem chiếu điện tử. Cản quang sử dụng là cản quang âm, tức là thay đổi tính chất sao cho không bị rửa trôi sau khi qua dung dịch tráng rửa, có tác dụng bảo vệ phần vật liêu bên dưới. Sau đó cả mẫu sẽ được đưa vào buồng ăn mòn, phần vật liệu không có cản quang sẽ bị ăn mòn và giữ lại phần được bảo vệ, có hình dạng của cản quang. Cuối cùng là rửa cản quang bằng dung môi hữu cơ. Các kỹ thuật ăn mòn thường dùng là ăn mòn khô, sử dụng các plasma hoặc hỗn hợp khí có tính phá hủy mạnh (CH4/O2/H2, F2...); hay ăn mòn hóa ướt bằng cách dung dịch hóa chất. Cản quang bị hòa tan trong dung môi hữu cơ, hoặc dung dịch tráng rửa, nhưng lại không bị phá hủy trong các quá trình ăn mòn nên có tác dụng bảo vệ phần vật liệu bên dưới. Đây là nguyên lý chung của các phương pháp lithography. Tùy theo bức xạ sử dụng mà ta sẽ có các phương pháp lithography khác nhau như photolithography (quang khắc) hay electron beam lithography (quang khắc chùm điện tử)... Photolithography (quang khắc): là phương pháp khắc bằng cách sử dụng ánh sáng (tử ngoại hoặc tia X) để tạo các chi tiết trên bề mặt. Bức xạ dùng để biến đổi cản quang ở đây là ánh sáng tử ngoại (hoặc có thể dùng tia X). Phương pháp này được sử dụng phổ biến trong công nghiệp bán dẫn và vi điện tử. Sơ đồ nguyên lý thiết bị EBL Electron beam lithography (quang khắc chùm điện tử, EBL) là phương pháp khắc bằng cách sử dụng chùm điện tử có năng lượng cao làm biến đổi các chất cản quang phủ trên bề mặt phiến. Đây là một công cụ phổ biến trong để tạo ra các chi tiết, các linh kiện có kích thước nhỏ với độ chính xác cực cao. II.4.2. Kỹ thuật chế tạo bằng phương pháp chùm ion hội tụ Nguyên lý của kỹ thuật chùm iôn hội tụ 2 chùm tia: một chùm iôn để thao tác, một chùm điện tử hẹp để ghi lại ảnh quá trình thao tác Chùm iôn hội tụ (FIB) là kỹ thuật sử dụng trong các ngành vật lý chất rắn, khoa học và công nghệ vật liệu, bằng cách điều khiển một chùm iôn được gia tốc ở năng lượng cao và được điều khiển để hội tụ trên điểm nhỏ nhờ các hệ thấu kính điện, từ. Các thiết bị chùm iôn hội tụ hiện nay bao gồm 2 chùm tia: một chùm iôn để thực hiện các thao tác chế tạo, và một chùm điện tử hẹp dùng để tạo ảnh, quan sát trực tiếp quá trình làm việc. Tương tác của chùm iôn với bề mặt chất rắn: gây các nguyên tử bị bốc bay, phún xạ, phát xạ điện tử thứ cấp... Thiết bị FIB hoạt động dựa trên nguyên tắc một hệ phún xạ. Khi chùm iôn hẹp có năng lượng cao quét trên bề mặt, động năng của các iôn sẽ làm cho các nguyên tử chất rắn tại bề mặt bị bốc bay tức thời. Độ sâu, rộng của phần chất rắn bị bốc bay phụ thuộc vào thế gia tốc và cường độ chùm iôn. Cường độ dòng điện của chùm iôn có thể thay đổi từ vài chục pA, cho đến vài chục nA. Để tạo hình cho các chi tiết, chùm iôn được điều khiển quét. Để bảo vệ chi tiết chế tạo khỏi bị phá hủy bởi chùm iôn, người ta có thể phủ một lớp platin (Pt) hoặc tungsten (thường pha trộn thêm cácbon để dễ bay bốc). Các lớp này có thể tạo thành hình các chi tiết, cấu kiện cần tạo nhờ sự điều khiển của hệ thấu kính. Nói một cách đơn giản, chùm iôn có năng lượng cao hoạt động như một "lưỡi dao", có tác dụng phá hủy những phần mẫu không cần dùng để tạo ra các cấu kiện như ý muốn. II.4.3. Các kỹ thuật chế tạo màng mỏng Các kỹ thuật chế tạo màng mỏng bắt đầu được phát triển từ cuối thế kỷ 19, có rất nhiều phương pháp được dùng tùy theo mục đích và điều kiện kinh tế, kỹ thuật: Kỹ thuật mạ điện Kỹ thuật mạ điện hay kỹ thuật Galvano là tên gọi của quá trình điện hóa phủ lớp kim loại lên một vật. Mạ đồng Trong quá trình mạ điện, vật cần mạ được gắn với cực âm catôt, kim loại mạ gắn với cực dương anôt của nguồn điện trong dung dịch điện môi. Cực dương của nguồn điện sẽ hút các electron e- trong quá trình ôxi hóa và giải phóng các ion kim loại dương, dưới tác dụng lực tĩnh điện các ion dương này sẽ di chuyển về cực âm, tại đây chúng nhận lại e- trong quá trình ôxi hóa khử hình thành lớp kim loại bám trên bề mặt của vật được mạ. Độ dày của lớp mạ tỉ lệ thuận với cường độ dòng điện của nguồn và thời gian mạ. Bay bốc nhiệt trong chân không Bay bốc nhiệt hoặc bay bốc nhiệt trong chân không là kỹ thuật tạo màng mỏng bằng cách bay hơi các vật liệu cần tạo trong môi trường chân không cao và ngưng tụ trên đế. Sơ đồ nguyên lý hệ bay bốc nhiệt Bộ phận chính của các thiết bị bay bốc nhiệt là một buồng chân không được hút chân không cao nhờ các bơm chân không. Người ta dùng một thuyền điện trở (thường làm bằng các vật liệu chịu nhiệt và ít tương tác với vật liệu, ví dụ như vônphram, tantan, bạch kim...) đốt nóng chảy các vật liệu nguồn, và sau đó tiếp tục đốt sao cho vật liệu bay hơi. Vật liệu bay hơi sẽ ngưng đọng lên các đế được gắn vào giá phía trên. Đôi khi đế còn được đốt nóng (tùy theo mục đích tạo màng tinh thể hay vô định hình...) để điều khiển các quá trình lắng đọng của vật liệu trên màng. Chiều dày của màng thường được xác định trực tiếp trong quá trình chế tạo bằng biến tử thạch anh. Khi màng bay hơi sẽ bám lên biến tử đặt cạnh đế, biến thiên tần số dao động của biến tử sẽ tỉ lệ với chiều dày của màng bám vào biến tử. Phún xạ catốt Nguyên lý của quá trình phún xạ Phún xạ hay Phún xạ catốt là kỹ thuật chế tạo màng mỏng dựa trên nguyên lý truyền động năng bằng cách dùng các iôn khí hiếm được tăng tốc dưới điện trường bắn phá bề mặt vật liệu từ bia vật liệu, truyền động năng cho các nguyên tử này bay về phía đế và lắng đọng trên đế. Nguyên lý của quá trình phún xạ khác với phương pháp bay bốc nhiệt, phún xạ không làm cho vật liệu bị bay hơi do đốt nóng mà thực chất quá trình phún xạ là quá trình truyền động năng. Vật liệu nguồn được tạo thành dạng các tấm bia và được đặt tại điện cực, trong buồng được hút chân không cao và nạp khí hiếm với áp suất thấp. Dưới tác dụng của điện trường, các nguyên tử khí hiếm bị iôn hóa, tăng tốc và chuyển động về phía bia với tốc độ lớn và bắn phá bề mặt bia, truyền động năng cho các nguyên tử vật liệu tại bề mặt bia. Các nguyên tử được truyền động năng sẽ bay về phía đế và lắng đọng trên đế. Các nguyên tử này được gọi là các nguyên tử bị phún xạ. Như vậy, cơ chế của quá trình phún xạ là va chạm và trao đổi xung lượng, hoàn toàn khác với cơ chế của phương pháp bay bốc nhiệt trong chân không. Epitaxy chùm phân tử Epitaxy chùm phân tử (MBE) là thuật ngữ chỉ một kỹ thuật chế tạo màng mỏng bằng cách sử dụng các chùm phân tử lắng đọng trên đế đơn tinh thể trong chân không siêu cao, để thu được các màng mỏng đơn tinh thể có cấu trúc tinh thể gần với cấu trúc của lớp đế. Kỹ thuật MBE chỉ có thể thực hiện được trong môi trường chân không siêu cao, do đó cho phép tạo ra các màng mỏng vật liệu có độ tinh khiết rất cao. Điểm khác biệt cơ bản nhất của MBE so với các kỹ thuật màng mỏng khác là các màng mỏng đơn tinh thể được mọc lên từ lớp đế đơn tinh thể với tốc độ cực thấp và có độ hoàn hảo rất cao. Vì thế, kỹ thuật MBE cho phép tạo ra các siêu mỏng, thậm chí chỉ vài lớp nguyên tử với chất lượng rất cao. Tuy nhiên, chất lượng màng cũng như tốc độ tạo màng phụ thuộc nhiều vào độ hoàn hảo của môi trường chân không. Lớp đế bên dưới là đơn tinh thể, có tác dụng như một mầm để lớp màng phát triển lên trong quá trình ngưng đọng. Phương pháp sol-gel Theo phương pháp này các dung dịch chứa ion khác nhau được trộn với nhau theo một tỷ phần thích hợp, dưới tác động của nhiệt độ, áp suất mà các vật liệu được kết tủa từ dung dịch. Sau các quá trình lọc, sấy khô, ta thu được các vật liệu. Sol- gel là một quá trình các phản ứng hoá học bắt đầu đi từ dung dịch đến sản phẩm cuối cùng ở trạng thái rắn. Từ “Sol” là từ đầu của danh từ “Solution” nghĩa là hệ phân tán vi dị thể rắn trong lỏng, còn từ “Gel” là các từ đầu của danh từ “Gelation” nghĩa là phân tán vi dị thể lỏng phân tán trong rắn và rắn phân tán trong lỏng. Lắng đọng hơi hóa học (CVD) Lắng đọng chùm laser Kỹ thuật phun tĩnh điện II.4.4. Kính hiển vi điện tử Thiết bị kính hiển vi điện tử quét Jeol 5410 LV tại Trung tâm Khoa học Vật liệu, Đại học Quốc gia Hà Nội Sơ đồ khối kính hiển vi điện tử quét II.4.4.1. Kính hiển vi điện tử quét (tiếng Anh: Scanning Electron Microscope, thường viết tắt là SEM), là một loại kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh với độ phân giải cao của bề mặt mẫu vật bằng cách sử dụng một chùm điện tử (chùm các electron) hẹp quét trên bề mặt mẫu. Việc tạo ảnh của mẫu vật được thực hiện thông qua việc ghi nhận và phân tích các bức xạ phát ra từ tương tác của chùm điện tử với bề mặt mẫu vật. II.4.4.2. Kính hiển vi điện tử truyền qua (tiếng Anh: transmission electron microscopy, viết tắt: TEM) là một thiết bị nghiên cứu vi cấu trúc vật rắn, sử dụng chùm điện tử có năng lượng cao chiếu xuyên qua mẫu vật rắn mỏng và sử dụng các thấu kính từ để tạo ảnh với độ phóng đại lớn (có thể tới hàng triệu lần), ảnh có thể tạo ra trên màn huỳnh quang, hay trên film quang học, hay ghi nhận bằng các máy chụp kỹ thuật số. II.4.5. Các phương pháp phân tích vận chuyển, phân tích tính chất từ II.5. Ưu điểm của linh kiện Spintronics Có thể nói rằng, spintronics sẽ là tương lai của công nghệ điện tử hiện nay, dựa trên nền tảng của từ học, kết hợp với nhiều thành tựu của các ngành khác: quang, điện tử học..., với những ưu điểm nổi trội hơn hẳn công nghệ điện tử hiện nay: Tiêu thụ ít năng lượng hơn: Việc chuyển trạng thái 0 và 1 trong các linh kiện điện tử truyền thống được thực hiện bằng cách vận chuyển điện tích vào/ra khỏi các kênh của transistor. Điều đó đòi hỏi phải tiêu tốn năng lượng vì việc vận chuyển điện tích đòi hỏi phải tạo ra được độ dốc của trường thế (hay điện trường), do đó bị tổn hao thành nhiệt và không thể bù đắp được, trong khi các linh kiện spintronics đảo trạng thái dựa trên việc đổi định hướng spin. Không gây ồn/nhiễu như điện tích: spin không liên kết dễ dàng với điện trường phát tán (trừ khi tương tác spin- quỹ đạo rất mạnh ở trong các vật liệu) nên tránh được nhiễu và ồn của điện tích. Thao tác nhanh hơn vì không phải mất thời gian cho việc vận chuyển điện tích, chỉ mất thời gian đảo phương spin. Tóm lại, đối với spin chỉ cần đảo chiều theo 2 chiều “lên” và “xuống” nên đòi hỏi tiêu tốn ít năng lượng và mất ít thời gian hơn nhiều. Người ta dự đoán rằng công nghệ spintronics sẽ góp phần quan trọng vào sự phát triển của công nghệ điện tử - tin học - viễn thông trong thế kỷ 21. Các đặc trưng của các thiết bị điện tử thế hệ mới này có tính tổ hợp cao (cả điện tử hoc, từ học và quang tử), đa chức năng, thông minh, nhỏ gọn, tiêu thụ ít năng lượng nhưng hiệu suất cao, xử lý và khả làm tươi thông tin với tốc độ rất cao và đặc biệt là có khả năng kết nối internet, liên lạc không dây và điều khiển từ xa... Những thành tựu của lĩnh vực này cũng sẽ không thể tránh khỏi việc tham gia vào các lĩnh vực khoa học-công nghệ và kỹ thuật của quân sự. Làm cho các linh kiện điện tử trở nên nhỏ hơn, chất lượng hơn, nhanh hơn, rẻ hơn, góp phần nâng cao chất lượng cuộc sống và tạo ra các yếu tố cạnh tranh cho nền kinh tế tri thức của quốc gia. II. 6. Nhược điểm của linh kiện Spintronics Tuy nhiên, để có thể tạo ra cuộc cách mạng spintronic, các nhà nghiên cứu cần tìm ra cách để tiêm (inject), thao tác (manipulate) và ghi nhận spin của điện tử trong các chất bán dẫn bởi dường như các vật liệu này vẫn chiếm vị trý trung tâm trong vật lý các linh kiện trong một tương lai có thể dự đoán được. Thao tác trên các spin dường như đang trên đà thẳng tiến, nhưng tiêm và ghi nhận spin vẫn còn vấp phải hàng loạt vấn đề dưới các trở ngại thực tế, tạo nên một thử thách lớn. Kết Luận Người ta dự đoán rằng công nghệ spintronics sẽ góp phần quan trọng vào sự phát triển của công nghệ điện tử - tin học - viễn thông trong thế kỷ 21. Các đặc trưng của các thiết bị điện tử thế hệ mới này có tính tổ hợp cao (cả điện tử hoc, từ học và quang tử), đa chức năng, thông minh, nhỏ gọn, tiêu thụ ít năng lượng nhưng hiệu suất cao, xử lý và khả làm tươi (refresh) thông tin với tốc độ rất cao... Spintronics, sự kết hợp giữa từ học với điện tử học, sẽ tạo ra một thể loại mới về mặt chức năng trong công nghệ vi điện tử và tạo nên những linh kiện điện tử có những tính năng hoàn toàn mới. Cơ sở vật lý cho các linh kiện spintronics là cơ chế phân cực spin trong chất rắn, các quá trình động học và vận chuyển spin. Spin có thể thay thế điện tích để mã hóa và truyển tải thông tin, đặc biệt là trong việc để mã hóa thành bit thông tin lượng tử (Q-bits) sử dụng trong máy tính lượng tử (Q-computer) của tương lai.Còn có nhiều thách thức ở phía trước, nhưng Spintronics sẽ góp phần đưa công nghệ điện tử-tin học-viễn thông lên một tầm phát triển ở trình độ mới, cao hơn ở trong thế kỷ 21. Ở trong nước, mặc dù spintronics đã bắt đầu được nghiên cứu khoảng chục năm nay, nhưng sẽ ngày càng được quan tâm rộng rãi, trong đó sẽ có sự tham gia của các nhà khoa học quân đội.Cuối cùng, chúng tôi xin nêu lên (nguyên văn) một nhận xét có tính tiên đoán từ năm 1959 của nhà vật lý Mỹ Richard Feynman về khả năng sử dụng đến spin của điện tử trong tương lai để kết luân rằng spin chính là cái đích tiếp theo của điện tử truyền thống (bài nói chuyện với câu nói nổi tiếng của Feynman:“There’s Plenty of Room at the Bottom”, 1959 APS Meeting): “...computers with wires no wider than 100 atoms, a microscope that could view individual atoms, machines that could manipulate atoms 1 by 1, and circuits involving quantized energy levels or the interactions of quantized spins”. Có thể nhận thấy rằng hiện nay dường như tất cả những điều dự đoán trên đây đều đã được thực hiện. Tài Liệu Tham Khảo Lê Đình, Bài giảng cơ học lượng tử (2009), Đại học huế- Đại học sư phạm. Phạm Quý Tư, Đỗ Đình Thanh, Cơ học lượng tử (1999), NXB Đại học quốc gia Hà Nội.