Luận án Tổng hợp màng đa lớp chắn bức xạ hồng ngoại TiO2 - Ag - TiO2 bằng phương pháp phún xạ magnetron

TỔNG HỢP MÀNG ĐA LỚP CHẮN BỨC XẠ HỒNG NGOẠI TiO2 - Ag - TiO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON TRƯƠNG THÚY DIỄM Trang nhan đề Lời cảm tạ Mục lục Mở đầu Chương 1: Phương pháp phún xạ magnetron phẳng để tạo màng mỏng Chương 2: Một số tính chất của màng mỏng Chương 3: Gương lạnh - gương nóng và các màng liên quan Chương 4: Thiết bị và qui trình sản xuất Chương 5: Tiến trình tạo màng TiO2 - Ag - TiO2 Chương 6: Kết quả và bàn luận Kết luận Phụ lục Tài liệu tham khảo