Luận văn Chế tạo màng dẫn điện trong suốt Zno:Al bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC có diện tích đế lớn (1m x 1,5m)

CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT ZnO:Al BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC CÓ DIỆN TÍCH ĐẾ LỚN (1m x 1,5m) TRẦN HỮU NGHỊ Trang nhan đề Lời cảm ơn Tóm tắt Mục lục Các danh mục Chương 1: Màng dẫn điện trong suốt và ứng dụng Chương 2: Hệ magnetron và sự tương tác bề mặt màng phản xạ nhiệt - trong suốt trên cơ sở bán dẫn pha tạp Chương 3: Nghiên cứu cấu trúc, tính chất và công nghệ chế tạo màng mỏng ZnO:Al Chương 4: Kết quả nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO:Al có diện tích đế lớn 100cm x 150cm Chương 5: Đánh giá cú trúc và tính chất màng ZnO:Al được chế tạo Chương 6: Kết luận và những kiến nghị những nghiên cứu tiếp theo Tài liệu tham khảo Phụ lục