Luận văn Tổng hợp màng TiN bằng phương pháp sputter- Ion- plating (SIP)
TỔNG HỢP MÀNG TIN BẰNG PHƯƠNG PHÁP SPUTTER- ION- PLATING (SIP) TRẦN THẾ HƯỞNG Trang nhan đề Mục lục Mở đầu Chương 1: Một số phương pháp tạo màng mỏng Chương 2: Phún xạ manhetron phẳng Chương 3: Thiết lập hệ EARE và PMS Chương 4: Tổng hợp màng tin Kết luận Tài liệu tham khảo
Các file đính kèm theo tài liệu này:
- 2.PDF
- 0_3.PDF
- 1_2.PDF
- 3.PDF
- 4_2.PDF
- 5.PDF
- 6_2.PDF
- 7.PDF
- 8.PDF