Nghiên cứu chế tạo và sử dụng các linh kiện quang điện tử dùng trong các thiết bị điện tử chuyên dụng
(Bản scan) - Đã chế tạo được mặt nạ mẹ cho kính vạch với những tiêu chuẩn đủ thay thế kính vạch thông dụng - Đã xác định được quy trình bốc màng Cr chất lượng cao - Đã thực hiện quy trình quang khắc màng Cr trong điều kiện tương đối thiếu vật tư đủ tiêu chuẩn
Các file đính kèm theo tài liệu này:
- 33961.pdf