Luận văn Thiết lập hệ tự động hóa quy trình tạo màng trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron

THIẾT LẬP HỆ TỰ ĐỘNG HÓA QUY TRÌNH TẠO MÀNG TRÊN ĐẾ THỦY TINH BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON GIANG VĂN PHÚC Trang nhan đề Lời cảm ơn Mở đầu Chương 1: Phương pháp phún xạ Magnetron tạo màng mỏng Chương 2: Qúa trình hình thành màng và cấu trúc tổ chức của màng Chương 3: Thiết bị và quy trình phún xạ Chương 4: Tiến trình thực hiện Chương 5: Đáng giá kết quả Chương 6: Phụ lục Tài liệu tham khảo